Тип | Цифровой |
Бренд | MKS Instruments |
Вес, кг | 0,728 |
Внутренний объем, см3 | 10,8 |
Воспроизводимость | 1x10^(-8) - 100 mTorr: ±5% от показаний; 100 mTorr - 150 Torr: ± 2,5% от показаний; 150 mTorr - 1000 Torr: ± 1% от показаний |
Диапазон показаний, торр | 1×10^(-9) - Атм |
Интерфейсный разъем | RS-485 / DeviceNet |
Категория | Вакуумметр |
Материалы, обращённые в вакуум | Нержавеющая сталь 304, тантал, вольфрам, покрытый иттрием иридий, оксид алюминия, эвтектика CuAg, Ковар®, золото или никелированный ковар, боросиликатное стекло |
Модель | Series 390 Micro-Ion ATM |
Мощность электродвигателя, кВт | 2,2x10^(-2) |
Назначение | Промышленный |
Напряжение, В | 24 |
Температура отжига, °C | 105 |
Температура хранения | от -40 до 70 |
Температурный режим, °С | от 0 до 40 |
Тип сенсора | Ионизационный |
Точность | 1x10^(-8) - 100 mTorr: ±15% от показаний; 100 mTorr - 150 Torr: ± 10% от показаний; 150 mTorr - 1000 Torr: ± 2,5% от показаний |
Электробезопасность | 2004/108/EC; EN61326-1 |
Страна | США |
Производитель | MKS Instruments |