Азимутальное вращение | Непрерывное с охлаждением LN2 (+/- 100° с охлаждением LHe) |
Базовый фланец | CF100 152 мм OD CF / CF150 203 мм OD CF |
Бренд | KJLC |
Категория | Вакуумный манипулятор |
Максимальный размер выборки | диаметр 25 мм |
Модель | XL-R Puck-Style |
Назначение | Промышленный |
Охлаждение LN2, °C | -150 |
Полярное вращение | +/- 180° (+/- 100° с опцией Lhe) |
Резистивный нагрев, °C | 900 |
Серия | XL-R |
Ход по XY, мм | +-19 / +-40 |
Ход по Z, мм | 100, 200, 300, 400, 600, 800 , 1000 |
Электронно-лучевой нагрев, °C | 1200 |
Страна | США |
Производитель | Kurt J. Lesker |