Геттерно-ионные насосы это современный и выгодный способ получения вакуума сверхвысокой глубины. Механизм работы этих агрегатов основан на втягивании и связывании молекул перекачиваемого вещества с помощью пленки или слоем геттера. Далее среда удерживаются в объеме насоса. За счет этого поддержка такого состояния происходит, даже когда он отключен. Внешне такое оборудование – это камера, в которой нет подвижных элементов, что отлично подходит для вакуумных систем закрытого типа. Применение востребовано в тех местах, где важна продолжительность работы и надежность агрегата.
Содержание:
- Преимущества и особенности конструкции геттерно-ионных насосов
- Геттерно-ионный вакуумный насос
- Рассмотрение характеристик геттерно-ионных насосов
Преимущества и особенности конструкции геттерно-ионных насосв
За счет применения геттерно-ионых насосов удается создать разрежение вакуума глубиной до 1х10-10 мбар. Оборудование может эксплуатироваться с максимальной нагрузкой даже на протяжении десятков лет. Это говорит о высокой эффективности и надежности работы.
Преимущества и особенности конструкции геттерно-ионных насосв
Среди преимуществ и особенностей оборудования такие:
- При эксплуатации не возникают вибрации устройства;
- Минимальные расходы на техническое обслуживание;
- Большой ресурс работы и запас прочности;
- Присутствие специальных индикаторов на рабочей панели;
- Стойкость к радиационным воздействиям;
- Предварительный прогрев перед запуском.
Сегодня производители предлагают большой ассортимент подобных устройств, которые предназначены для внедрения в разных сферах и отраслях деятельности. Собственно процесс откачивания газов осуществляется путем хемсорбции за счет образования титановой пленки. Устройства нашли свое применение для откачки и перекачивания легких инертных и тяжелых газов, газовых смесей. Может применяться в паре с криогенным оборудованием, за счет чего их эффективность повышается.
Геттерно-ионный вакуумный насос
Модели насосов подобного исполнения предложены нескольким разновидностями. За счет доступности большого ассортимента оборудования с разными характеристиками удается подобрать модификацию, которая абсолютно соответствует задачам, поставленным перед ним. В этом устройство совмещены геттерные и ионные методы работы. причем скорость работы может достигаться 750 л/с, собственно поэтому все они отличаются по размерам и габаритам.
Геттерно-ионный вакуумный насос
Геттерно-ионные насосы – саморегулирующие устройства, которые отличаются продолжительным сроком эксплуатации, удобством технического обслуживания и ремонта. Подбирая такой насос, нужно обращать внимание на:
- Функции;
- Сферы применения;
- Тип откачиваемых газов;
- Свойства газов.
Насосы применимы для отраслей, где важно создание чистого глубокого или сверхглубокого вакуума. Очень важно при подключении и работе соблюдать технику безопасности, а при возникновении любых сбоев, провести ТО и вызвать специалиста.
Рассмотрение характеристик геттерно-ионных насосов
Рассмотрение характеристик геттерно-ионных насосов
Есть ряд технических характеристик, которые особенно важны для насосов такого типа, среди них:
- Скорость откачки;
- Эффект насыщения;
- Стабильность;
- Стартовое давление;
- Термостойкость.
Скорость откачки – параметр, который определяет конечное давление и время его достижения. В случае с вакуумными насосами этого типа, как и с другими это параметр зависит от химических и физических свойств газа. А также от конструкции откачивающего агрегата. В этом случае химического сродства с геттерными материалами.
Одна из уникальных характеристик геттерно-ионных вакуумных насосов – это эффект насыщения. До момента первого применения катоды ненасыщенны и газы на их поверхности еще не связаны. Поэтому новый насос откачивает практически с в 2 раза большей скоростью, пока не придет состояние насыщенности. Уже спустя пару часов с момента первого пуска при стандартном давлении насос стабилизируется. При изменении типа газа, подобный эффект будет наблюдаться вновь.
Неизменяемость, она же стабильность давление – это способность сохранять постоянное давление при стабильном давлении газов. Это параметр зависит от материала, их которого изготовлены катод, такое же влияние есть и на скорость откачки.
Возможности применения геттерно-ионных насосов огромны, так на сегодня они неотъемлемый компонент научных инструментов: ускорителей, масс-спектрометров и в анализе поверхностей. Они применимы при изготовлении вакуумных труб, разработке полупроводников, симуляции космоса и в других сферах. На данный момент их невозможно заменить в электронной микроскопии и литографии, а все за счет их виброустойчивости.